IRIS – Institutional Research Information System
IRIS è il sistema di gestione della ricerca dell’Università degli Studi di Milano-Bicocca.Il repository BOA è il modulo del sistema dedicato alla raccolta e alla disseminazione della produzione scientifica di Ateneo. Le pubblicazioni sono ricercabili per parola chiave attraverso il box nella barra orizzontale in alto oppure, mediante il pulsante Sfoglia, per "Afferenza", "Autore", "Titolo", "Tipologia" o "Settore scientifico-disciplinare".
IRIS contiene inoltre alcuni moduli dedicati alla registrazione dei progetti e dei contratti, e alla reportistica avanzata per le attività di valutazione della ricerca
EnglishBoron accumulation was observed close to the interface between an epitaxially grown silicon layer and a silicon substrate wafer and then analyzed. It was concluded that boron contamination interacting with the surface oxide on wafers led to boron accumulation close to the interface. Such accumulation is shown to occur for epilayers of standard thickness (approximately 10 mum), with boron being electrically unactive
Pivac, B., Borghesi, A., Geddo, M., Sassella, A., & Pedrotti, M. (1992). Boron accumulation at epi-substrate silicon interface during epitaxial growth. MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 15(1), 32-36 [10.1016/0921-5107(92)90025-5].
| Citazione: | Pivac, B., Borghesi, A., Geddo, M., Sassella, A., & Pedrotti, M. (1992). Boron accumulation at epi-substrate silicon interface during epitaxial growth. MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 15(1), 32-36 [10.1016/0921-5107(92)90025-5]. | |
| Tipo: | Articolo in rivista - Articolo scientifico | |
| Carattere della pubblicazione: | Scientifica | |
| Presenza di un coautore afferente ad Istituzioni straniere: | No | |
| Titolo: | Boron accumulation at epi-substrate silicon interface during epitaxial growth | |
| Autori: | Pivac, B; Borghesi, A; Geddo, M; Sassella, A; Pedrotti, M | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 1992 | |
| Lingua: | English | |
| Rivista: | MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY | |
| Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1016/0921-5107(92)90025-5 | |
| Appare nelle tipologie: | 01 - Articolo su rivista |
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
Copyright © 2021