Rojas, S., Gomarasca, R., Zanotti, L., Borghesi, A., Sassella, A., Ottaviani, G., et al. (1992). Properties of borophosphosilicate glass films deposited by different chemical vapor deposition techniques. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B, 10(2), 633 [10.1116/1.586424].

Properties of borophosphosilicate glass films deposited by different chemical vapor deposition techniques

BORGHESI, ALESSANDRO;SASSELLA, ADELE;
1992

Articolo in rivista - Articolo scientifico
Scientifica
phosphosilicate thin films; infrared
English
Rojas, S., Gomarasca, R., Zanotti, L., Borghesi, A., Sassella, A., Ottaviani, G., et al. (1992). Properties of borophosphosilicate glass films deposited by different chemical vapor deposition techniques. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B, 10(2), 633 [10.1116/1.586424].
Rojas, S; Gomarasca, R; Zanotti, L; Borghesi, A; Sassella, A; Ottaviani, G; Moro, L; Lazzeri, P
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/10281/34539
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