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Pulici, A., Kuschlan, S., Seguini, G., De Michielis, M., Taglietti, F., Fanciulli, M., et al. (2023). Electrical characterization of ultra-thin SOI films doped by means of phosphorus end-terminated polymers. Intervento presentato a: 244th ECS Meeting, Gothenburg, Sweden.

Electrical characterization of ultra-thin SOI films doped by means of phosphorus end-terminated polymers

Andrea Pulici
Primo
;F. Taglietti;M. Fanciulli;
2023
relazione (orale)
Doping, Silicon-on-Insulator, Mobility Enhancement, Activation, Ioncomplete Ionization, Phosphorus
English
244th ECS Meeting
2023
2023
none
Pulici, A., Kuschlan, S., Seguini, G., De Michielis, M., Taglietti, F., Fanciulli, M., et al. (2023). Electrical characterization of ultra-thin SOI films doped by means of phosphorus end-terminated polymers. Intervento presentato a: 244th ECS Meeting, Gothenburg, Sweden.
02 - Intervento a convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/10281/565921
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