Borgoni, R., Radaelli, L., Tritto, V., Zappa, D. (2010). Optimal reduction of a monitoring grid for SiO2 deposition surface over a wafer for semiconductor devices. In Atti della XLV Riunione Scientifica della Società Italiana di Statistica.
Optimal reduction of a monitoring grid for SiO2 deposition surface over a wafer for semiconductor devices
BORGONI, RICCARDO
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2010
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