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EnglishAn analysis, based on angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy, multiple-internal-reflection infrared spectroscopy, and atomic force microscopy, of device-quality (1 0 0)silicon surfaces after etching in dilute aqueous solution of HF is presented. The analysis shows that the surface is mainly formed by a heterogeneous distribution of SiH, SiH<sub>2</sub>and SiH<sub>3</sub> terminations, but contains sub-stoichiometric oxidized silicon. The analysis shows moreover the existence of a form of reduced silicon, not consistent with the currently accepted picture of the native HF<sub>aq</sub>-etched surface. © 2008 Elsevier B.V. All rights reserved.
Cerofolini, G.F., Giussani, A., Modelli, A., Mascolo, D., Ruggiero, D., Narducci, D., et al. (2008). Chemical, energetic, and geometric heterogeneity of device-quality (1 0 0) surfaces of single crystalline silicon after HFaq etching’. APPLIED SURFACE SCIENCE, 254, 5781-5790 [10.1016/j.apsusc.2008.03.058].
| Citazione: | Cerofolini, G.F., Giussani, A., Modelli, A., Mascolo, D., Ruggiero, D., Narducci, D., et al. (2008). Chemical, energetic, and geometric heterogeneity of device-quality (1 0 0) surfaces of single crystalline silicon after HFaq etching’. APPLIED SURFACE SCIENCE, 254, 5781-5790 [10.1016/j.apsusc.2008.03.058]. | |
| Tipo: | Articolo in rivista - Articolo scientifico | |
| Carattere della pubblicazione: | Scientifica | |
| Titolo: | Chemical, energetic, and geometric heterogeneity of device-quality (1 0 0) surfaces of single crystalline silicon after HFaq etching’ | |
| Autori: | Cerofolini, GF; Giussani, A; Modelli, A; Mascolo, D; Ruggiero, D; Narducci, D; Romano, E | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 2008 | |
| Lingua: | English | |
| Rivista: | APPLIED SURFACE SCIENCE | |
| Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2008.03.058 | |
| Appare nelle tipologie: | 01 - Articolo su rivista |
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