Quartarone, E., Infante Garcia Maria Del, P., Mustarelli, P., Marabelli, F. (2004). Structure and growth mechanism of ultra-thin and thin SiO2 films deposited by RF Magnetron Sputtering. In Libro degli Abstracts del Congresso Nanophase Materials, CNR, Roma, 16-17 Settembre 2004.
Structure and growth mechanism of ultra-thin and thin SiO2 films deposited by RF Magnetron Sputtering
Mustarelli Piercarlo;
2004
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