Barni, R., Riccardi, C., Fontanesi, M., Tosi, P. (2000). Chemical composition of CH4/Ar plasmas and the gaseous precursors of diamond-like films. In SASP 2000: 12th Symposium on Atomic and Surface Physics and related topics (pp.PR1.1-PR1.3). Trento : D.Bassi and P.Tosi Eds., Stamperia dell'Università degli Studi di Trento.

Chemical composition of CH4/Ar plasmas and the gaseous precursors of diamond-like films

BARNI, RUGGERO;RICCARDI, CLAUDIA;FONTANESI, MARCELLO;
2000

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plasma; chemical kinetics; methane; argon; diamond-like carbon;
English
12th Symposium on Atomic and Surface Physics and related topics
2000
SASP 2000: 12th Symposium on Atomic and Surface Physics and related topics
2000
PR1.1
PR1.3
none
Barni, R., Riccardi, C., Fontanesi, M., Tosi, P. (2000). Chemical composition of CH4/Ar plasmas and the gaseous precursors of diamond-like films. In SASP 2000: 12th Symposium on Atomic and Surface Physics and related topics (pp.PR1.1-PR1.3). Trento : D.Bassi and P.Tosi Eds., Stamperia dell'Università degli Studi di Trento.
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